Ban đầu, khi nghe được tin đồn rằng Cao Trừng đã chết, Hiếu Tĩnh Đế nghĩ rằng đây là cơ hội để mình giành lại quyền lực. Tuy nhiên, đến khi thấy Cao Dương phô trương bằng cách đưa 200 lính tháp tùng, Đông Ngụy Hiếu Tĩnh Đế nhận thấy rằng sẽ không dễ để đối phó với Cao Dương. Trong khi đó, Cao Dương tiến về thành trì của họ Cao là Tấn Dương (晉陽, nay thuộc Thái Nguyên, Sơn Tây), và củng cố quyền chỉ huy quân sự của mình tại đó. Bằng các quyết định nhanh chóng và thận trọng, Cao Dương nhanh chóng gây ấn tượng với các tướng khi trước đã từng xem thường ông.

Vào mùa thu và mùa đông năm 549, nhân việc nhà Lương kình địch ở phương Nam rơi vào cảnh hỗn loạn do cuộc nổi dậy của Hầu Cảnh (Hầu Cảnh nguyên là một tướng của Đông Ngụy song đã hàng Lương vào năm 547), Cao Dương đã phái Bành Nhạc đem quân đi đánh các châu biên giới của Lương, dễ dàng chiếm được khu vực nằm giữa Hoài Hà và Trường Giang.

Vào mùa xuân năm 550, Cao Dương buộc Đông Ngụy Hiếu Tĩnh Đế phải trao cho mình tước hiệu lớn hơn là Tề quận vương. Hai tháng sau đó, tước hiệu của ông được thăng tiếp thành Tề vương.

Vào mùa hè năm 550, theo lời khuyên từ các quan Cao Đức Chính (高德政), Từ Chi Tài (徐之才), và Tống Cảnh Nghiệp (宋景業), Cao Dương đã quyết định tiếm vị, bất chấp quan điểm e dè từ Lâu vương thái hậu. Cao Dương đã dẫn quân tiến từ Tấn Dương đến Nghiệp thành, song ngay khi ông đang trên hành trình và tiến đến thành Bình Đô (平都, nay thuộc Tấn Trung, Sơn Tây) ở nửa đường, các quan lại phần lớn đều giả bộ lờ đi lời đề nghị lên ngôi của ông, vì thế Cao Dương đành phải quay trở lại Tấn Dương. Ngay sau đó, Cao Dương buộc Hiếu Tĩnh Đế phải ban thánh chỉ ban cửu tích cho mình, thể hiện rõ dã tâm muốn đoạt lấy ngai vàng. Cao Dương sau đó lại tiến về Nghiệp thành, Hiếu Tĩnh Đế đã phải thiện nhượng cho ông, kết thúc triều Đông Ngụy và mở đầu triều Bắc Tề, Cao Dương trở thành Bắc Tề Văn Tuyên Đế. Văn Tuyên Đế phong cho cựu hoàng Đông Ngụy làm Trung Sơn vương; truy phong Cao Hoan và Cao Trừng làm hoàng đế, và tôn phong mẹ làm hoàng thái hậu.